図解：クリーンルーム清掃管理

クリーンルーム清掃管理

目的：クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルーム内 の清浄度の維持に務める。

 

ＣＲ静電床の清掃

日常清掃（頻度：毎日）

①初めにCR専用真空掃除機で床に堆積したダストを吸引する、その際、掃除は一方向で行いダストを飛散させない。

②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）専用拭き取り用具を純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭く

定期清掃（頻度：毎週）

初めにCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水＋洗浄液使用）
拭き取り用具を清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って から清掃面を拭く

②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）

拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。

水拭きは良く絞ってから拭く

 CR天井の清掃

定期清掃（頻度：毎月）

①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）

 ＣＲ壁の清掃

定期清掃（頻度：毎月）

①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）、上から下へ拭く。

 ＣＲ設備・治工具の清掃

日常清掃（頻度：毎日）

①設備・治工具の外、内側のダストを両面テープ、掃除機で除去する。

②専用ワイパーにて両面テープが清掃できない箇所の一方向拭き清掃を実施。

（特に角部、内部）

各設備、毎の設備清掃作業手順書に場所、方法を詳細に記載し、実施。

 定期清掃（頻度：毎月）

①ＣＲ専用ワイパー清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って から設備・治工具 の外、内側を一方向拭きを行う。

②次に専用ワイパーを純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭き洗剤成分を取り除く 良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。

    定期清掃（頻度：毎月）

①設備天井及ダクト管の上部をCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）

 

ＣＲ清浄装置の清掃

定期清掃（頻度：毎日）

①エアーシャワー内部（下部）のダストを掃除機で除去する。

②エアーシャワー内部（下部、壁）を一方向水拭き清掃する。（特に角部）

 

定期清掃（頻度：毎月）

①エアーシャワー下部、壁部の取り付け板を外し堆積しているダストを掃除 機で除去する。

②次に一方向水拭き清掃する。（特に角部）

清掃用具のクリーニング管理

１）掃除機：使用後、吸い込み口を純水に浸した清掃用具で清掃。

（目的：使用後、吸い込み口に付着したダストを取り除く）

２）ワイパー：限度基準以上になったら交換ＯＫ限度/NG限度サンプルにて判定

３）両面ローラー：汚れが限度基準以上になったら交換

４）粘着マット：汚れが限度基準以上になったら交換

ＣＲ清掃教育＆清掃資格

1) 新人教育としＣＲ内清掃についての意義、方法を教育する。

2)ＣＲ内清掃教育実施後、実際に工程にて実技教育 を行う。

３）最後に各人の清掃方法を確認し、評価を行う。

 

各清掃方法の効果

一方向水拭きが一番効果あり

クリーンルーム清掃方法

クリーンルーム室内の清掃方法及び清掃頻度

 

 

 

クリーンルーム　参考文献

カラー図解 クリーンルームがわかる本 (VISUAL ENGINEERING) 単行本（ソフトカバー） – 2008/1/26
クリーンルーム技術研究会 (著)

クリーンルームのおはなし (おはなし科学・技術シリーズ) 単行本 – 2009/2
環境科学フォーラム (編集)

クリーンルーム環境の計画と設計 (第3版) 単行本（ソフトカバー） – 2013/12/21
公益社団法人日本空気清浄協会 (編集)