図解:クリーンルーム清掃管理

スポンサーリンク

クリーンルーム清掃管理

目的:クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルーム内 の清浄度の維持に務める。

CR静電床の清掃

日常清掃(頻度:毎日)

①初めにCR専用真空掃除機で床に堆積したダストを吸引する、その際、掃除は一方向で行いダストを飛散させない。

②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用)専用拭き取り用具を純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭く

定期清掃(頻度:毎週)

初めにCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水+洗浄液使用)
拭き取り用具を清掃用水溶液(専用洗剤+純水)浸し、絞って から清掃面を拭く

②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用)

拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。

水拭きは良く絞ってから拭く

 CR天井の清掃

定期清掃(頻度:毎月)

①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用)

 CR壁の清掃

定期清掃(頻度:毎月)

①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用)、上から下へ拭く。

 CR設備・治工具の清掃

日常清掃(頻度:毎日)

①設備・治工具の外、内側のダストを両面テープ、掃除機で除去する。

②専用ワイパーにて両面テープが清掃できない箇所の一方向拭き清掃を実施。

(特に角部、内部)

各設備、毎の設備清掃作業手順書に場所、方法を詳細に記載し、実施。

 定期清掃(頻度:毎月)

①CR専用ワイパー清掃用水溶液(専用洗剤+純水)浸し、絞って から設備・治工具 の外、内側を一方向拭きを行う。

②次に専用ワイパーを純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭き洗剤成分を取り除く 良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。

    定期清掃(頻度:毎月)

①設備天井及ダクト管の上部をCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用)

CR清浄装置の清掃

定期清掃(頻度:毎日)

①エアーシャワー内部(下部)のダストを掃除機で除去する。

②エアーシャワー内部(下部、壁)を一方向水拭き清掃する。(特に角部)

定期清掃(頻度:毎月)

①エアーシャワー下部、壁部の取り付け板を外し堆積しているダストを掃除 機で除去する。

②次に一方向水拭き清掃する。(特に角部)

清掃用具のクリーニング管理

1)掃除機:使用後、吸い込み口を純水に浸した清掃用具で清掃。

(目的:使用後、吸い込み口に付着したダストを取り除く)

2)ワイパー:限度基準以上になったら交換OK限度/NG限度サンプルにて判定

3)両面ローラー:汚れが限度基準以上になったら交換

4)粘着マット:汚れが限度基準以上になったら交換

CR清掃教育&清掃資格

1) 新人教育としCR内清掃についての意義、方法を教育する。

2)CR内清掃教育実施後、実際に工程にて実技教育 を行う。

3)最後に各人の清掃方法を確認し、評価を行う。

各清掃方法の効果

一方向水拭きが一番効果あり

クリーンルーム清掃方法

クリーンルーム室内の清掃方法及び清掃頻度

関連コンテンツ